监测纯水中全部潜在的杂质不切实际，不同监测方法适用于不同种类的杂质。关键快速的在线监测技术是电阻率和TOC

杂质监测

电导率/电阻率

电导率，k，以及它的倒数电阻率，r ，提供了有价值的纯水中离子含量的非特定指标。在纯水中，电导率，k，是水中单个离子的导电贡献总数，包括所有的杂质离子以及少量水电解而成的氢离子和羟离子。由于这些氢和羟离子，超纯水在25ºC时仍有一点导电性，电导率为0.055 µS/cm(电阻率18.2 MΩ-cm)。对一个强盐离子，k 值与盐溶液的浓度和它的离子活性，u₊ 和u_-成比例。 u₊ 和 u_-值与溶液粘度以及水温相关。有许多离子其离子活性u的相应温度系数大约在+2%/°C，除了u₊ 和 u_- 与温度t的这一关系，水的溶解平衡常数K_w 也与温度相关。结果是，纯水的电导率可能随温度上升6%/°C。常规情况是，我们会自动纠正所有的电导率和电阻率值到25°C时的数值，但是USP（《美国药典》）要求使用非温度修正值。电导率以每厘米微西门子(µS/cm) 表示，用于原水和Ⅲ级水。电阻率是电导率的倒数，是较纯水的度量单位，以兆欧姆-厘米(MΩ-cm) 表示。电阻率和电导率通过在线监测器可简单快速测定。监测器包括了电导池、传感器、电线，显示单元和温度补偿单元。监测器测定电导池中两个传感器之间的电阻，R。             小于2 µS/cm的电导率值必须在线测定，因为高纯度的水会从所处环境中快速吸收污染物，特别是二氧化碳，它会导致电导率上升。虽然电阻率提供了高纯度水的离子指标，但不能表明非离子化合物的存在和浓度，而且由于与水中氢离子和羟离子的平衡作用，电阻率对低于ppb浓度的离子也不敏感。如果如此低的杂质浓度仍十分敏感于某种应用，就需要测定出单个离子的浓度。离子捕获-质谱（ICP-MS），离子色谱（IC）和原子吸收光谱（AA）是最通用的分析技术 不同温度的电阻率变化 

总有机碳(TOC)

由于纯水中依然存在着多种复杂的有机物，将全部杂质逐一例行监测出来是不现实的，因此需要一个监测总有机物浓度的监测仪，TOC监测被证实最有效。水样中的有机物被氧化，所生成的氧化物被监测出来。
市场上有各种TOC分析仪，可被粗分为以下两类，一类将所有的C 氧化为CO2并被测量出来 ，另一类全部或部分氧化有机物使其酸化，或全部氧化所含的化合物并测量出电导率的变化。全氧化方式的读数包括来自N 原子和 S原子的氧化物硝酸和硫磺酸。前者常常用于离线监测TOC指标，后者用于在线监测。由于有被污染的风险，TOC水平<25 ppb时采用在线监测是必要的，建议TOC<25 ppb时均采用在线方式。

TOC的典型值